河北普莱斯曼龙8娱乐科技有限公司
3英寸SAW器件龙8娱乐膜/硅复合基片
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3英寸SAW器件龙8娱乐膜/硅复合基片

 3英寸SAW器件龙8娱乐膜硅复合基片



    本研究应用直流电弧喷射化学气相沉积龙8娱乐膜技术,在3英寸硅衬底表面上沉积龙8娱乐薄膜,已成功制备出总厚度小于0.7mm的龙8娱乐膜/硅复合基片,主要应用于制作SAW器件等。基本参数如下:
直径≥3英寸
龙8娱乐薄膜厚度>6μm
表面粗糙度Ra<10nm
平面度<40μm/3英寸


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